《中国制造2025》将EUVL列为了集成电路制造领域的发展重点,并计划在2030年实现EUV光刻机的国产化。 在02专项任务牵引下,长春光机所应光室的短波光学研究团队潜心
中国研究团队九年出一大科技成果 首套国产高
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厉害了:中国研究团队自主研发首套90纳米高端
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国家科技重大专项光刻机双工件台系统样机研发
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中国光刻机水平_国产光刻机现在啥水平_中芯
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中国首套90 nm高端光刻机通过验收_半导体\/P
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国产芯片为何卡在光刻机上!日本尼康社长:高级
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九年风云磨一镜 中国首套高端光刻机曝光!-中
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中国芯片为何卡在光刻机上 日方:复杂的你们做
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国内首套高端光刻机即将诞生, 国产芯片要崛起
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我国能生产光刻机吗?
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如何光刻机会称为半导体制造行业的明珠?
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郭沫若,一位文史学者,长期担任中科院院长、中
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国内首套高端光刻机即将诞生, 国产芯片要崛起
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