为保持镀膜的成分特性,石墨靶厂,溅射气体(氩气或氧气)必须清洁并干燥,溅镀腔内装入基材后便需将空气抽出,达到工艺所要求的真空度。暗区屏蔽罩,石墨靶哪家好,腔体壁及邻
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