集 成 电 路 漏 电 流 失 效 定 位 teleout上传于2016-01-29 漏 电 流 增 大 是 集 成 电 路 的 主 要 失 效 表 现 , 通 过 光 发 射 显 微 镜 ( P E M ) 和 光 束 感 生 电 阻 变 化 ( O B I R
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