中微半导体设备公司董事长兼首席执行官尹志尧表示,由于工艺进度推进得很快,他们要加快新设备的开发,他还指出,设备的研发要比工艺的推进快5年,因此按照他的观点,5nm工艺
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图文:中微半导体设备董事长尹志尧参加论坛
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中微半导体发布首款MOCVD设备进军半导体照
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尹志尧--中微半导体设备(上海)有限公司董事长
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