晶圆测试方法_晶圆测试

STI3000动态晶圆级测试系统采用STI的专利技术(DST),通过一个驱动电压在晶圆上驱动MEMS移动,从而测量由此产生的相关各种特性,是目前全世界最. 2013-02-27 标签:MEMS

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