因为提问者不太了解光刻和刻蚀的区别,请看链接中视频的后半部分 : 《中国财经报道》 而纳米级别的刻蚀则是包括视频中所提到的ICP,还有FIB(聚焦离子束)刻蚀,同样针对不同
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