深紫外光刻机_深紫外光刻

分析测试,百科网,光电所研制出实用深紫外光刻机,近日,中国科学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队研制成功波长254nm的实用深紫外光刻机(Mask aligner),光刻分辨力

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