02专项32纳米EUV光刻机_euv光刻机

中芯国际已经向ASML公司订购了一台EUV光刻机,单价1.2亿美元。预计在2019年初交付。看科技新闻的都知道芯片制造的难度之大,可以说难于上青天!

02专项光刻机双工件台系统样机研发项目通过

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