扩散与方块电阻_方块电阻与电阻率

采用四探针测试法测定了发射极的方块电阻, 结果显示基体电阻率越高, 扩散后的方阻越 扩散的磷总浓度越低,相应的方块方阻越高。 因此,表面浓度和结深与基体电阻率呈反比

高温低温变温四探针薄膜方块电阻测量系统\/,高

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