磁控溅射怎么控制厚度_磁控溅射镀膜厚度

刚刚开始做磁控溅射,现在有几个问题,求大侠帮助啊,多谢多谢 1.在细纤维(柱状)上镀,关于镀膜的厚度如何测量,能用台阶仪或者电镜吗 2.要镀的材料是氧化锌,是直接用氧化锌靶

磁控溅射法制备金属薄膜的工艺参数详解.ppt

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