半导体生长过程【相关词_ 半导体生长】

Jordan等首次将此模型应用于CZ法生长GaAs晶体的热应力研究,模拟结果强调了-族化合物半导体生长过程中,温度场控制对位错产生的重要影响。之后, Duseaux [16]应用有限元

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