高密度等离子体刻蚀【相关词_ 高密度等离子体刻蚀机】

摘要摘要低气压、高密度等离子体刻蚀的模拟对于高密度等离子体刻蚀的工艺研究具有重要意义。本论文深入研究了低气压、高密度等离子体的工作机理及其刻蚀工艺的原理

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