答:是指工厂的工艺能力可以达到 0.13 um 的栅极线宽。当栅极的线宽做的越小时,整个 (该尺寸的大小代表半导体工艺水平的高低) 做的越小时, 工艺的难度便相 对提高。从 0.
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