薄膜cvd设备【相关词_ cvd金刚石薄膜】

河北石家庄050081摘要:在已有的30kW金刚石膜设备基础上,研制出了直流等离子体CVD金剐石薄膜涂层设备。这套设备用直径为00mm的喷嘴能够沉积出直径为190mm均匀度

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