上海微和荷兰ASML在光刻机上的差距客观上反映了中国和西方在精密制造领域的差距,一台顶级光刻机的关键零部件来自不同的西方发达国家,美国的光栅,德国的镜头,瑞典的轴

上海微电子装备的光刻机@pzhmzg采集到中国

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