表面处理 ?通过气相成膜处理,将硅片表面变为亲水性,以增强光刻胶 ?和硅片表面的粘附性 ?将光刻胶分滴在硅片表面并旋转,得到在整个硅片表面具有一定的均匀厚度的光刻胶
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