晶圆片快速退火【相关词_ 晶圆片】

腔内设置有热辐射加热器。载片盘在晶圆退火过程中,通过晶圆自身重力对载片盘凸起的作用减缓晶圆的翘曲。退火装置采用热辐射方式加热且具有保温层,防止晶圆快速降温和

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