方阻与电阻率【相关词_ 电阻率与方阻的关系】

一厚度约为1μm的薄膜,用RTS-9四探针测试仪测得其方块电阻为1500kΩ/□,如何求得其电阻率?用此公式对吗?ρ=R□*W*F(W/S)/10ρ为电阻率,单位:Ω/□,W为膜厚,单位:mm

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