分子束外延镀膜设备【相关词_ 分子束外延设备】

美国SVT激光分子束外延设备/LMBE/LaserMBE: LaserMBE具备PLD和传统MBE的特点,对薄膜的生长速率进行精确(原子层级别)控制。设备特点是在MBE系统上增加激光烧蚀

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