(1)蒸镀法.主要由磁控溅射、分子束外延等方法; (2)旋涂法,就是将溶胶等通过旋涂的方法制备薄膜; (3)化学法.比如采用表面氧化的方法可以制备氧化物薄膜等. 作业帮用户 201
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