薄膜力学性能测试【相关词_ 薄膜力学性能测试标准】

传统材料力学性能测试方法已难以满足微米级及更 小尺度样品的测试精度 , 不能够准确评估薄膜材料的强度指标和寿命 另外在材料微结构研 究领域中 , 材料研究尺度逐渐缩小

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