半导体气体哪些【相关词_ 半导体厂家气体】

外延(生长)混合气:在半导体工业中,在仔细选择的衬底上选用化学气相淀积的方法, 生长一层或多层材料所用的气体叫作外延气体。常用的硅外延气体有二氯二氢硅()、四氯 化硅

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