而在内地,中芯国际、中微半导体等也在努力推进,前者已经成熟代工28nm HKMG和量产14nm硅片凸块,正在推进7nm,合作伙伴中就包括刻蚀机的制造商深圳中微半导体(AMEC
图文:中微半导体设备董事长尹志尧参加论坛
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中微半导体发布首款MOCVD设备进军半导体照
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中微半导体赢得针对Veeco上海的专利禁令申请
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国内光刻机领域突破9nm线宽光刻技术
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【中天高科技】中微半导体设备打入台积电7纳
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一文读懂:为什么国内只有中微半导体能研发出
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中微半导体设备公司获得年度新秀公司奖[半导
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