晶体管工艺【相关词_ 晶体管制造工艺】

【摘要】:本工作首先分析了非穿通超β晶体管性能与器件结构的关系,导出其制作的关键是低浓度宽基区的实现,其次通过硼分布工艺控制规律的研究说明获得低浓度宽基区的基

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