多晶硅薄膜材料制备技术研究进展 【摘要】:阐述了多种多晶硅薄膜的制备方法和相关工艺技术,介绍了各种工艺条件对多晶硅薄膜材料的结构和性能等的影响,并比较了多种制
薄膜材料制备原理、技术及应用(第2版) 唐伟忠
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