薄膜材料与薄膜技术pdf

本书系统阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本理论和基本知识,重点介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学和物理沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征、对目前

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