电子束蒸发设备【相关词_电子束蒸发】

该设备主要有EB-500、EB-700、EB-900三个型号。系统主要由蒸发室、旋转基片架、光加热系统、电子枪及电子枪电源、石英晶体振荡膜厚监控仪、工作气路、抽气系统、

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