晶圆离子注入的目的【相关词_晶圆厂去离子水设备】

从而控制离子以一定的能量注入晶圆片内部,从而在所选择的区域形成一个具有特殊性质的表面层(即注入层),达到掺杂的目的。总的来说,离子注入工艺由于其不可比拟的优势,目

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