集成电路的制造有一个工艺就是光刻,他是在硅片上涂感光胶,用集成电路设计的电路胶片遮盖上面,曝光,清除感光部分,露出硅片在上面进行加工,然
可怕的台积电,一口气买下5台EUV光刻机 - 半导
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国内首台自主知识产权光刻机合肥问世
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euv的光刻机结构和原理
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是什么卡住了我们的脖子?这些细节让中国难望
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上海微电子:借助前人经验 加速中国光刻机研发
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