不过,这个193nm浸润式光刻机现在已经不是最先进的了,最先进的是波长13nm的极紫外光刻机(EUV)。注意光刻机的波长是从193nm一下子降到13nm,不是很多外行理解的65、
长江存储首台光刻机抵达武汉,可造14nm 3D N
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价值7200万美元,长江存储首台光刻机运抵武汉
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4.6亿元!长江存储喜提光刻机:可造14nm 3D闪
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