193nm浸润式光刻机【相关词_193nm光刻胶】

不过,这个193nm浸润式光刻机现在已经不是最先进的了,最先进的是波长13nm的极紫外光刻机(EUV)。注意光刻机的波长是从193nm一下子降到13nm,不是很多外行理解的65、

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