最先进的光刻机多少nm【相关词_国产最先进光刻机】

这台光刻机的型号是 NXT 1980Di,依然是荷兰 ASML提供,后者官方显示,这是一台 193nm双级沉浸式光刻机,用于 10nm级(14~20nm)晶圆生产,它也是大陆装备的最先进的沉浸式

华虹12寸晶圆厂装备大陆最先进沉浸式光刻机

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