Nikon 浸没光刻机【相关词_国产浸没式光刻机】

目前国际上光刻机的制造几乎处于垄断地位,最大的三家生产商为荷兰ASML, 美国Nikon Precision和日本Canon。从2004年起,这几家公司就提供193nm浸入式光刻机样品供各大

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