微电子光刻工艺【相关词_上海微电子光刻机】

微电子工艺基础88微电子工业基础 88 1、熟悉光刻工艺的流程 2、能够区别正胶和负胶 3、了解对准和曝光的光学方法 4、解释湿法刻蚀和干法刻蚀的方法和优缺点微电子工业

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