集成电路薄膜工艺【相关词_薄膜混合集成电路】

合金或绝缘介质薄膜,并通过真空蒸发工艺、溅射工艺和电镀等工艺重叠构成。用这种工艺制成的集成电路称薄膜集成电路。 薄膜集成电路中的晶体管采用薄膜工艺制作,它的材

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