硅衬底镜面【相关词_硅衬底】

在镜面抛光的硅衬底上沉积金刚石薄膜纪红金曾孙顾长志金文成吕宪义邹广田 (硬材料国家重点超实验室,吉林大学, 102)长春,303摘要我们采用在镜面抛光的硅衬底上加负偏压

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