衬底加热有何作用【相关词_衬底的作用】

想问下磁控溅射的时候衬底一般可以连续加热多长时间呀? 担心加的太长了仪器会受不了, 如果想加热三小时,是不是最好每隔一个小时停十几分钟呀?、、、 顺便再问下铝箔纸

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