干法蚀刻【相关词_干法蚀刻和湿法蚀刻】

内容提示:2005年11月第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术会议珠海干法蚀刻中的磁场模拟及优化敬小成,姚若河 ,林玉树 (华南理工大学物理科学与技术学院,广东广州51

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