中微半导体设备公司董事长兼首席执行官尹志尧表示,由于工艺进度推进得很快,他们要加快新设备的开发,他还指出,设备的研发要比工艺的推进快5年,因此按照他的观点,5nm工艺
上海扬子江建设(集团)有限公司
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