外延生长和cvd_外延生长

第27卷增刊2006年12月半导体学报 CHINESE JoURNAL oF SEMICoNDUCToRS V01.27 Supplement Dec.,2006 Sil-x Gex:C缓冲层上Ge薄膜的CVD外延生长*王荣华符凯谢自

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