什么是外延生长_外延生长

可以将外延分为同质外延和异质外延,若两者材料相同即为同质外延,反之则为异质外延;根据掺杂浓度的不同,可分为正外延和反外延,正外延是指重掺杂衬底上生长轻掺杂的外延

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