半导体外延生长_半导体外延生长技术

到重视。越来越多的设计者希望通过使用外延来提高器件的性能。良好的外延生 长,可以将衬底对器件的影响降到可以忽略的水准,可以提高器件的性能。同时, 也正因为外延的

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