分子束外延(MBE)技术是指在超高真空条件下,一种或几种组分的热原子束或分子束喷射到加热的衬底表面,与衬底表面反应,沉积生成薄膜单晶的外延工艺。到达衬底表面的组分
DCA S600\/800\/1000 分子束外延设备(MBE)
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分子束外延(MBE)设备的结构示意图
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