砷化镓外延的制备_砷化镓外延片

正 马纳塞维特等和腊-乔德休里报导过用甲基-镓化合物和砷烷反应制备砷化镓外延层。然而,这些化合物是极活泼的(三甲基镓在有氧存在的情况下,即使在-76℃也能点燃,其蒸气

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