双阱工艺_深n阱工艺

双阱双阱双阱双阱CMOS工艺流程工艺流程工艺流程工艺流程 1.双阱工艺(n/p阱制作) (1)原氧化生长(氧1) (2)做n阱注入窗口(光1) (3) n阱注入(注1) (4)掩蔽氧化层(氧2) (5) p阱注

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