砷化镓外延工艺的作用_砷化镓外延片

和砷烷(AsH_3)制备砷化镓外延膜的初步结果,并对TMG引起的碳沾污作热力学估计,讨论了AsH_3/TMG比对外延层电学性质的影响和TMG的提纯,最后对该工艺的应用提出了看

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