设备的新型的预先混气的顶盘组件,由进气上盘、水冷套、匀气盘、以及匀气网组成,通 [0001]本专利属于半导体生产设备领域,具体而言涉及一种气盘及使用该气盘的气体反应
省委书记、省人大常委会主任李希等领导莅临浑
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