中微半导体 光刻机_中微光刻机

中微半导体的氧化层蚀刻,TSV蚀刻设备有竞争力。 沈阳芯源做国内的轨道机,目前没有进入市场。 上海微电子做光刻机,Gline有在卖,iline预计今年会有第一台。 沈阳拓荆的PE

国内光刻机领域突破9nm线宽光刻技术

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光刻机领域国内接近世界先进水平,9nm线宽光

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