硅外延片在硅单晶衬底上沿其原来的晶向再生长一层硅单晶薄膜的半导体硅材料。严格的说是在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层(N/N+)和在P型硅抛光片衬底上生长的P型
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