半导体化学气相沉积台_化学气相沉积

化学气相沉积(CVD)技术是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术。在典型的CVD 半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏等领域提供各种类

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