形成欧姆接触的方法_欧姆接触

通过光刻形成互连金属线和集成电路的孔填充塞的过程。 2互连金属 3 4在集成电路中金属薄膜主要用于 1.欧姆接触(Ohmic Contact) 2.肖特基接触(Schottky Barrier Contact) 3.低

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